Vysoce čisté měděné naprašovací terče – čtvercové (4N-6N)
Vysoce čistý měděný naprašovací terč – Prohlášení o procesu a zajištění kvality
Naše čtvercové měděné naprašovací terče jsou vyráběny podle přísných standardů požadovaných pro spolehlivé nanášení tenkých vrstev v pokročilých procesech nanášení povlaků.
Výroba probíhá podle přísně kontrolovaného pracovního postupu založeného na vakuu, aby byla zachována ultravysoká čistota a konzistence materiálu:
●Výběr suroviny: Jako výchozí materiál se používají pouze certifikované elektrolytické měděné katody (≥99,99 %).
● Vakuové tavení: Indukční tavení za vysokého vakua nebo inertní atmosféry minimalizuje zachycování kyslíku a těkavých nečistot.
●Odlévání a rafinace: Řízené směrové tuhnutí produkuje ingoty s homogenním složením a minimální segregací.
●Tváření za tepla: Kováním nebo lisováním za tepla se dosahuje téměř teoretické hustoty a zjemněné struktury zrn.
●Přesné obrábění: CNC frézování a broušení umožňuje dosáhnout přesných čtvercových rozměrů s rovnými, rovnoběžnými povrchy.
● Povrchová úprava: Vícestupňové leštění zajišťuje zrcadlový lesk vhodný pro použití v čistých prostorách.
● Volitelné lepení: Pro tepelnou regulaci je k dispozici indiové nebo elastomerové lepení na molybdenové/měděné podkladové desky.
●Závěrečné čištění a balení: Ultrazvukové čištění v ultračisté vodě, následné vakuové balení do dvouvrstvých čistých sáčků.
Systém řízení kvality
● Plná sledovatelnost od šarže surové katody až po hotový terč
● Materiálové certifikáty a zkušební protokoly jsou dodávány s každou zásilkou
● Uchovávání archivních vzorků ≥3 roky pro ověření třetí stranou (SGS, BV atd.)
● 100% kontrola kritických parametrů:
• Čistota a nečistoty (analýza GDMS/ICP-MS; typický obsah kyslíku <10 ppm)
• Měření hustoty (Archimédova metoda; ≥99,5 %)
• Velikost zrna a mikrostruktura (metalografické vyšetření)
• Rozměrová přesnost (souřadnicový měřicí stroj; rovinnost ≤0,05 mm typicky)
• Drsnost a vady povrchu (profilometr + vizuální kontrola)
● Vnitřní specifikace překračují požadavky normy ASTM F68. Typické vlastnosti: Tepelná vodivost >390 W/m·K, Elektrický odpor <1,7 μΩ·cm, Konzistentní rychlost naprašování a kvalita filmu.
● Procesy kompatibilní s čistými prostory a zařízení s certifikací ISO 9001:2015 zajišťují, že každý cíl splňuje náročné požadavky moderních PVD aplikací.










